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勻膠機(jī)

更新時(shí)間:2024-05-05

產(chǎn)品型號(hào):德國(guó)SPS-EUROPE SPN150i

廠家性質(zhì):經(jīng)銷商

訪問次數(shù):527

簡(jiǎn)要描述:

德國(guó)SPS-EUROPE公司SPINCOATING品牌勻膠機(jī)具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,啟動(dòng)快速,涂膠一致性和均勻性好等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆。

工作原理

勻膠機(jī)(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

*特征

可編程全尺寸彩色觸摸屏控制器,可拆卸,耐化學(xué)試劑腐蝕;速度、加速和時(shí)間可編程;無*程序存儲(chǔ)空間,可存儲(chǔ)旋涂多步驟工作協(xié)議;具有協(xié)議密保功能;

可編程轉(zhuǎn)速范圍: 1rpm-12,000rpm;轉(zhuǎn)速參數(shù)設(shè)置范圍廣;高精確性旋轉(zhuǎn)速度 (± 0.1 rpm);

數(shù)字電機(jī)控制,帶增速數(shù)字顯示信號(hào)反饋,以避免轉(zhuǎn)速過量,從而提升涂膜的品質(zhì);

防靜電PET透明襯套,杜絕工作倉(cāng)室的交叉污染;

一體化結(jié)構(gòu),殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材質(zhì),傳動(dòng)系統(tǒng)采用工程塑料材質(zhì),壽命長(zhǎng)耐腐蝕;

采用經(jīng)過熱處理透明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈簧可自動(dòng)將蓋子固定在理想位置;玻璃蓋上帶注射器固定架和氮?dú)鈹U(kuò)散器,注射器固定架以固定的位移距離和位置注入抗蝕劑/化學(xué)試劑;氮?dú)鈹U(kuò)散器在旋涂過程可注入到工作艙氮?dú)?氬氣;工作艙環(huán)境可控;

安全互鎖裝置:工作艙蓋鎖止;艙蓋打開旋轉(zhuǎn)自動(dòng)停止;真空不足或沒有真空旋轉(zhuǎn)自動(dòng)停止;過載保護(hù);

USB端口:可上傳和下載旋涂協(xié)議和軟件;

三個(gè)外接控制端口,可用于接入注入單元自動(dòng)控制,氮?dú)鈹U(kuò)散器控制等等;

產(chǎn)品通過CE認(rèn)證。

 

參數(shù)

 

 

SPN150i

SPN200i

控制方式

全彩觸摸屏控制界面

全彩觸摸屏控制界面

結(jié)構(gòu)材質(zhì)

聚丙烯(NPP-H)材質(zhì)

聚丙烯(NPP-H)材質(zhì)

旋轉(zhuǎn)速度

1-12000rpm ±1rpm steps

1-12000rpm ±1rpm steps

旋轉(zhuǎn)精度

±0.1rpm

±0.1rpm

旋轉(zhuǎn)方向

順時(shí)針,逆時(shí)針,交換擺動(dòng)

順時(shí)針,逆時(shí)針,交換擺動(dòng)

加速/減速

1-30,000rpm/秒 (每步可選)

1-30,000rpm/秒 (每步可選)

旋轉(zhuǎn)時(shí)間

 0.1-99999秒/步

 0.1-99999秒/步

基片范圍

160mm 或6"直徑或4"x4"方片

260mm 或6"直徑或6"x6"方片

腔體直徑

202mm

302mm

外接控制端口

3個(gè)

3個(gè)

真空開關(guān)

外形尺寸

27.5x45.0x25.0cm(WxDxH)

380x559x307cm(WxDxH)

 

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